上海真空設備真空泵維修的要點：

真空泵維修的要點是判斷故障。往往是真空抽不上去，原因可能有幾個，一定要搞清楚是什么原因，也許真空機組的抽氣能力不夠，也可能是漏率偏高，又或者兩種可能都有。這時，應該耐心觀察和記錄，從中找出故障。比如，抽空時間相同，而真空度偏低，這時候關閉主閥，如真空計指針很快下降，多數情況是真空室漏了，這時候應先查出漏點。如真空計指針下降很慢，多數情況是真空機組抽氣能力不夠，這時可將重點放到查找真空泵及閥門的問題上來，看是哪里出現了泄漏，或是擴散泵油污染了，氧化了;或是前級管路密封不好，泵油不足;或是泵油乳化，軸封漏油等故障。

一、檢測漏率：

用戶最頭疼的問題就是檢測漏率。漏——分內漏和外漏，外漏比較好檢測，內漏則難辦些。較大的漏點可以用火焰法，利用氣流能使火焰偏離的原理，先抽上真空，比如用蠟燭或打火機在可疑點附近逐步查尋，會發現火苗向漏點偏移，則可找到漏點。

(1) 漏和微漏的查找：

小漏和微漏就比較難查了，真空泵維修常用的方法是利用在高真空狀態下電離管對某些氣體反應敏感來檢漏，比如丙酮或乙醇，用醫用注射器向可疑的地方噴射丙酮或乙醇，噴到漏點時，電離計的指針會有明顯擺動。用這種方法檢漏一定要有耐心，一定要等到電離計的示值穩定了——也就是真空機組的抽氣能力和漏率平衡了，然后再噴射。最好是反復幾次，確認漏點。

(2) 漏和外漏的查找：

內漏多發生在有水冷套的設備上，查外漏沒有發現疑點，但是卻有以下現象：機械泵的抽速明顯偏低、真空計示值低、機械泵油很快乳化、真空室內的鐵基零部件明顯銹蝕。具備以上條件基本可以確定有內漏。例：有一臺25㎏中頻爐，配有2X—70旋片泵和兩臺ZJ—150羅茨泵加到一起抽也只抽到10 Pa，ZJ—150泵的作用顯現不出來，沒發現有外漏，卻具備了機械泵油很快乳化，真空室內鐵基件明顯銹蝕的條件，解體設備清理干凈后用通冷卻水的方法查出是爐蓋漏水，剩下就是查出漏點。先把內壁清理干凈，再通冷卻水，看有無濕潤點，濕潤處就是漏點。

二、真空泵維修故障點的處理：

找出故障點就可以因地制宜地進行處理了，簡單的辦法就是換件，小到膠圈，螺栓;大到閥門，真空泵，只要手頭上有的都可以換。對于需要焊接的部位應按要求來進行，焊接后還需確認是否達到了要求。

三、真空泵維修時要注意的環節：

維修應注意幾個環節。即拆卸、清潔、檢驗及裝配。

真空設備無論大小都屬于精密機械設備，這點很重要。拆卸應遵循輕拿輕放的原則，不能蠻干，一定不能用大錘去敲。

清洗零件時要干凈，徹底，以便于發現問題和查出隱患。真空泵類產品與一般機械產品有較大區別，一般機械產品多倒楞倒角，而真空泵的楞角分明，很易傷手應多加小心，切記。千萬別把楞角倒去。

檢驗是個細致活，每個細節都不要落掉，任何細微的地方都可能是問題所在，所以不能存在僥幸心理。

不論是用汽油還是其他溶劑清洗的真空泵件，一定要等到汽油或溶劑徹底揮發了才能進行裝配。真空泵油若與其他的油或溶劑或水混合會破壞其性能，影響真空泵的性能指標。膠圈要擦干凈，仔細檢查有無缺陷和裂紋，尺寸是否正確，尺寸不對將影響密封。凡是有加熱位置的膠圈，每次拆卸清洗時必須換，比如油增壓泵各個接口，裝配時泵件同樣需要輕拿輕放;緊螺絲時用力要均，要從對角緊起。動密封多用軸封，上軸封時要細心，先檢查軸封本身有無缺陷，密封面是否平整，軸封簧彈性如何，在軸封內側可薄薄地涂上一層真空脂，上軸封時用力要均，骨架軸封不要壓偏了，偏了就會漏油、漏氣，軸封簧別擠進去，沒了軸封簧軸封就失效了。注意軸封與軸的同心度，有的泵是用對輪連接的，對輪的同軸性要求很嚴格，裝配時要從軸的四面去量，保證平行一致。羅茨泵的對齒輪調整的關鍵是兩個8型齒輪不相碰。

擴散泵的內壁和噴射塔清洗干凈后最好用電力紡擦干。由于國內生產的擴散泵主要靠電爐絲的長短來控制泵油的溫度，擴散泵油的注入量就需要考慮當地電網的實際情況來酌量增減。泵的口徑大小不一樣注油量也有差別，電網的電壓低油可以減少2 mm，只要是干凈的鋼板尺或鐵絲都可以用來測量。由于制造和使用上的差別，擴散泵注油量僅供參考。

真空泵維修切記不可操之過急，故障沒搞清楚就想當然的開始動手拆卸，舊病未除又添新病，把簡單的問題復雜化了。

1、幾種情況下處理方式：

應急處理

(1) 高溫時斷水、斷電. 真空設備最怕的就是高溫時斷水、斷電。因此用戶最好在設備安裝時建有備用水箱或連有自來水管。

設備在高溫時斷水、斷電，此時，泵、閥門均應處于關閉狀態，操作人員應馬上接通備用水或自來水，對設備進行水冷，如不能很快來電，還應打開充放氣系統的手動充氣閥，對設備進行充氣保護，充氣壓力為-0.02 MPa左右。然后，把控制柜上的所有按鈕關至“關”的位置。同時用濕毛巾搭在電極引出接口處，定期更換，以免電極接口過熱，造成密封圈損壞。

(2) 更換充氣氣瓶. 設備所用充氣氣瓶需更換時，拆掉穩壓閥，換上一瓶新氣，一定要注意安裝時不許漏氣。在換上新氣瓶后，在工件沒加熱前，應在抽空過程中對爐內充氣，以便在換氣瓶過程中造成的管路內存有的大氣抽出，使充氣管路保持清潔。

(3) 正常工作時，發現設備突然漏氣，如馬上能找到泄露點，須用真空封泥把泄露點封住，待工作完畢后，再做處理。如不能確定泄露處，則應立即停止工作，然后檢修。

(4) 設備工作一段時間，一般50到70爐次，需清理打掃，把粉塵清出爐外，然后空爐工作一次。工作的方式是先抽空為真空度高于10-2 Pa時加熱，加熱溫度一般高于正常使用溫度的20℃。在最高爐溫時保溫一個小時以上，然后自然冷卻。這樣使設備內部空間保持清潔。

2.2.2機械泵的常見故障及真空泵維修：

2.2.3羅茨泵的常見故障：

羅茨泵是一種旋轉式變容真空泵。其極限真空度可達5×10-2 Pa，又稱機械增加泵。其工作原理是通過二個“8”字形的轉子旋轉，通過容積的改變來實現抽氣和排氣。其工作原理與羅茨鼓風機相似。

真空泵維修保養：

① 應經常保持泵房環境清潔干燥。

② 應經常注意各部分潤滑油的狀況，如發現不足時，應及時補充。如發現不清潔時，應及時更換，并注意螺塞重新旋進去時應保證密封。泵工作壓差應控制在旁通閥允許的壓差范圍內，否則易燒壞電機。

③ 在拆修時各部件不能用重錘敲打。

④ 拆下的零件避免碰傷、擦毛。特別要注意密封面的平整光潔，否則會引起再裝配后漏氣現象，泵不能恢復原有性能。

⑤ 拆下的零件用汽油、四氯化碳或乙醚清洗，干燥后才能裝配。

⑥ 裝配時要注意轉子兩端與左右側蓋的間隙，轉子與轉子，轉子與泵體的間隙按規定要求調整。

⑦ 泵體左右側蓋之間之結合面均采用107樹脂(即室溫硫化硅橡膠)密封。

⑧ 真空泵維修裝配前必須注意螺旋套方向，主動軸上靠近電機一側為左旋，齒輪箱一側為右旋，從動軸上則相反。

油擴散泵故障處理

(1)擴散泵工作過程中冷卻水必須保證暢通，停止加熱后必須保證泵工作液已完全冷卻后方可關閉冷卻水。

(2) 泵停止工作時，泵內應保持真空狀態，以免泵油劣化。

(3) 被抽氣體應是干燥、無腐蝕、無灰塵的氣體。

(4) 泵如暫時不用，保管期間應保持真空狀態，以免泵油污染和各零件腐蝕。并將冷卻水套內的剩水吹凈。保存場地的室溫應在10℃～40℃之間。

(5) 泵在正常運行時如突然出現性能變壞，應先檢查加熱器是否正常。

(6) 泵在長期工作后，性能會逐漸變壞，應定期檢修。

a. 泵油是否減少或氧化，按相應要求加油或更換處理。

b. 零件及泵腔先用航空汽油清洗，然后用絲綢蘸乙醚或丙酮進行擦洗，并置于80℃～100℃溫度下烘干或用電吹風吹干。

c. 處理完后，按順序進行裝配，保持泵芯與泵底垂直與泵腔同心，各級噴嘴間隙要按原要求調整好。